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              臭氧氣體輸送系統

              臭氧氣體輸送系統,可產(chǎn)生超純、可靠的臭氧氣體。在清潔的半導體環(huán)境中,借助臭氧氣體反應實(shí)現原子層沉積 (ALD) 和蝕刻 (ALE) 等薄膜沉積工藝。高純度、高濃度臭氧氣體能夠產(chǎn)生更高的薄膜密度,從而提高產(chǎn)品產(chǎn)量、產(chǎn)品性能和可靠性。

              • 詢(xún)價(jià)
              • 問(wèn)專(zhuān)家

              產(chǎn)品特點(diǎn)

              臭氧濃度高

              氣體流量高

              采用超純發(fā)生技術(shù)

              無(wú)氮氣摻加技術(shù)

              customer service

              客戶(hù)
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                完善的客戶(hù)服務(wù)檔案,

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              • 專(zhuān)家貼心服務(wù)

                我們與國內的臭氧運行及

                應用技術(shù)專(zhuān)家長(cháng)效合作

              • 升級改造服務(wù)

                協(xié)同您對臭氧發(fā)生系統中

                相關(guān)設備進(jìn)行升級改造

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